人体作为一个导体，洁净室作业人员一旦穿着衣服、鞋、帽子等，在行走的过程中就会由于摩擦产生静电积累，有时会高至数百伏甚至上千伏，虽然能量小，但人体会感应带电成为危险性很大的静电源。为了防止作业人员着装，包括工作服、鞋、帽等的静电积累，应该采用防静电织物作为面料制作的各类人体防静电器材；通常这类器材包括工作服、鞋、帽、袜子、口罩、手腕带、手套、指套、鞋套等，应该按照不同的防静电工作区等级、场所的要求采用不同的人体防静电器材。
首先，防静电洁净工作服，这是经过了无尘清洗的在洁净室中使用的防静电工作着装，一般分为连体式和分体式，结构安全、卫生，并且便于穿脱。工作服上不使用金属材质的附件，如纽扣、钩件拉链等，如必须使用，则需要加以掩襟，不得外露。
其次，防静电的腕带、足带、鞋具等。腕带由接地带、导线和接点（指扣）组成，它的作用是将人员产生的静电迅速、安全的耗散接地，并保持人与工作表面相同的静电势。足带（腿带）是将人体携带的静电荷泄放至静电耗散型地面的一种接地装置，足带与腕带的不同之处在于，足带的接地点位于床带着足部护具的底部。为了保证随时接地，两只脚均应佩戴足带。而洁净室中的鞋具有两种，包括鞋罩、靴子和套在普通鞋外面的鞋套。靴子、鞋套由与防静电地面或地垫接触的鞋底和带有消除静电导电面料手段的鞋腰组成。鞋底的材料应使服装上的静电通过鞋腰穿至鞋底，再从鞋底穿至静电耗散型地面或地垫。
第三，静电耗散型的防静电手套和指套。这类器材用于干工艺和湿工艺中保护产品和工艺过程免受静电的伤害和作业人员的污染。佩戴手套或指套的作业人员可能偶尔不接地，所以应该对防静电手套的储电特性和再次接地时的放电率进行确认。
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