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模块化洁净室根据客户要求，将洁净室空气环境中所含尘埃量控制在100级内，空气中尘埃颗粒≥0.5μm粒子允许浓度为100pc/ft3（约3520pc/m³），已达成特定产品的生产环境需求，百级洁净室广泛应用于半导体设备、航空、通讯、激光等精密行业中。...
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