哪些洁净室（无尘车间）需要进行微振控制？

我们都知道，洁净室（无尘车间）需要对洁净度、温湿度、静电、噪音进行控制，但是有些行业的洁净室还需要进行微振控制。所谓微振，就是极小的振动也会对产品的质量或实验结果产生重大影响，因此需要进行控制。

人类在地面上的活动，火车、汽车等交通工具的运行，车间内压缩机、冲床、通风机等设备的运行，都会产生振动。即使在比较安静的环境下，也会存在十到几微米甚至更低的振动。这些微小振动对我们人体没什么影响，但是对精密设备、仪器的正常运行会产生很大的影响。

如微电子产品的制造，晶圆片的加工在纳米级别，而光刻工序中，是将图案缩小印刻在芯片上，因此几微米的微振相对来说也会导致产生巨大的误差。

如感光胶片涂布，由于拖动系统的不稳定使得涂布速度不恒定而产生周期性冲击引起涂布辊自振，使得涂布辊与挤压嘴之间产生相对位移造成乳剂涂布厚度不均匀而产生恒温，影响胶片质量。

其他航空航天、密机械加工、光学器件检测、激光实验、超薄金属轧制、天文、军工、古建筑及文物保护等等，也都需要进行微振控制。

因此在这些洁净室（无尘车间）里，会通过选择远离振源、选择隔振材料和隔振器来进行主动隔振、被动隔振等，对微振进行控制。

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