在一些高等级的模块化洁净室，如百级以上，需要使用高架地板（格栅地板）。那么，这些高架地板都有哪些要求呢？
首先，材料选择。铝合金因其耐腐蚀、高强度的特性，常被用于高架地板的制造。铝合金通风板通过一次负压铸造而成，具有尺寸精度高、导电性能好、防火性能好、防磁、不易变形等特点，性能稳定，是防静电地板中的高档产品。在洁净室高架地板与四周平台之间的缝隙处，通常使用不锈钢盖板进行装饰，以增强整体的美观性和功能性。
其次，开孔。高架地板面层上的开孔率和开孔分布、孔径或边长等均应符合设计要求。例如，常见的通风率高架地板有17%，25%，50%三种开孔率，不同的开孔率可以满足不同区域的空气流动需求。
第三，高度。高架地板的安装高度根据具体需求有所不同，常见高度包括1800mm、1500mm、1200mm、1000mm、900mm、600mm等系列高度。对于更衣室、机房等特殊部位，活动地板的安装高度通常为200mm左右。
第四，导电。高架地板应具有良好的导静电性能，以防止静电积聚对洁净室内部环境和设备造成影响。所有有防静电要求的高架地板在安装前应核查产品出厂证明、合格证及防静电性能测试报告。
第五，接地。高架地板的接地措施至关重要，它不仅关系到地板的使用安全，还影响到整个洁净室的静电控制效果。接地系统应设计合理，连接牢固，确保地板能够有效地将静电导入地下，避免静电对环境和设备造成损害。
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