多晶硅是单质硅的一种形态,硅原子以晶格形态排列成许多品核,晶核长成晶面取向不同的晶粒,品粒组合结晶成多晶硅。根据用途可分为太阳能级和半导体级,是作为制造单晶硅的原料和用于生产太阳能光伏电池。多晶硅洁净室设计及装修应符合下列规定:

半导体级多晶硅还原厂房的还原炉室应按洁净厂房进行设计,空气洁净度等级不应低于8级。平面布置、人员净化、物流净化、室内装修应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。当设有通往整理厂房的连廊时,连廊的空气洁净度等级和处理方法应与还原炉室的要求一致,宜符合本规范附录C的规定。


还原炉室地面宜采用耐磨的洁净地面,当采用水磨石地面时,应采取防静电措施。墙面宜采用外贴洁净板或防静电树脂涂料。
整理厂房空气洁净度等级及洁净区划分应按工艺要求设置,空气洁净度不应低于8级。平面布置、人员净化、物流净化、室内装修,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。
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